特許

J-GLOBAL ID：200903006880642930

薄膜コイル部品

発明者： 篠浦 治
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-306977
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133520
出願日： 1998年10月28日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 インダクタ、ノイズフィルタ等として利用される薄膜コイル部品、特に周波数100MHz以上の高周波で使用される薄膜コイル部品において簡単な工程で、高周波でも抵抗値の上昇しない低抵抗薄膜コイル部品を提供する。【解決手段】 断面が凸状の熱硬化フォトレジスト上に、コイル導体の断面が凸状の導体断面を有するコイルが形成されており、コイル導体の層厚をt、垂直方向の高さをHとした時にH>tであるコイルからなる薄膜コイル部品。

請求項（抜粋）：

コイル導体の層厚をt、垂直方向の高さをHとした時にH>tであるコイルからなることを特徴とする薄膜コイル部品。

IPC (2件)：

H01F 17/00 ,  H01F 27/28

FI (2件)：

H01F 17/00 B ,  H01F 27/28 L

Fターム (9件)：

5E043AA07 ,  5E043AB09 ,  5E070AA01 ,  5E070AB01 ,  5E070BA01 ,  5E070CB12 ,  5E070CB20 ,  5E070CC10 ,  5E070EA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 高周波用コイルおよびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-195241   出願人：日本電信電話株式会社
• インダクタンス素子およびその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-294412   出願人：日本電信電話株式会社
• 高周波用コイル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-195240   出願人：日本電信電話株式会社