特許
J-GLOBAL ID：200903006895001655

混合されたコア手段を使用した高純度シリコン棒の製造装置及び製造方法

発明者：
キム, ヘ ヨン

キム, ヘ ヨン について

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ヨン, キュン コ

ヨン, キュン コ について

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パク, ヨン キ

パク, ヨン キ について

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ソ, ウォン ウク

ソ, ウォン ウク について

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チョイ, ウォン チュン

チョイ, ウォン チュン について


出願人/特許権者：
コリア リサーチ インスティチュート オブ ケミカル テクノロジー

コリア リサーチ インスティチュート オブ ケミカル テクノロジー について


代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-509442
公開番号（公開出願番号）：特表2009-536914
出願日： 2007年05月11日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
析出反応器の内部空間に抵抗性材料から作られる第1コア手段をシリコン材料から作られる第2コア手段とともに設置し;前記第1コア手段を電気的に加熱して、電気的に加熱される前記第1コア手段により前記第2コア手段を予熱し;前記予熱された第2コア手段を電気的に加熱し;そしてシリコンの析出のために前記第1コア手段と第2コア手段が電気的に加熱される状態で内部空間に反応ガスを供給することを具備する混合されたコア手段を使用して多結晶シリコン棒を製造する方法及び装置を開示する。
請求項（抜粋）：
混合されたコア手段を使用して多結晶シリコン棒を製造する方法であって、 (a)抵抗性材料で製造された第1コア手段と、シリコン材料で製造された第2コア手段を析出反応器の内部空間にともに設置し、 (b)前記第1コア手段を電気的に加熱し、そして電気的に加熱された前記第1コア手段により前記第2コア手段を予熱し、 (c)前記予熱された第2コア手段を電気的に加熱し、及び (d)シリコンの析出のために、前記第1コア手段と前記第2コア手段を電気的に加熱している状態で、内部空間に反応ガスを供給することを具備する 混合されたコア手段を使用して多結晶シリコン棒を製造する方法。
IPC (1件)：
C01B 33/035
FI (1件)：
C01B33/035
Fターム (26件)：
4G072AA01 ,  4G072BB03 ,  4G072BB12 ,  4G072GG01 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072GG05 ,  4G072HH04 ,  4G072HH07 ,  4G072HH08 ,  4G072HH09 ,  4G072HH11 ,  4G072JJ02 ,  4G072JJ09 ,  4G072JJ34 ,  4G072JJ50 ,  4G072LL01 ,  4G072LL02 ,  4G072LL03 ,  4G072MM01 ,  4G072NN01 ,  4G072NN14 ,  4G072RR04 ,  4G072RR11 ,  4G072RR21 ,  4G072UU02
引用特許：
出願人引用 (7件)
  • 米国特許第4,179,530号
  • 米国特許第5,895,594号
  • 米国特許第3,941,900号
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審査官引用 (4件)
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