特許
J-GLOBAL ID：200903006928166370
ポジ型ホトレジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-166618
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325476
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】感度、残膜率及び耐熱性に優れたポジ型ホトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】(A)アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂及び(B)キノンジアジド基含有化合物を含むポジ型ホトレジスト組成物において、前記(A)成分が、メタクレゾール及びアルデヒド類、又はメタクレゾール、パラクレゾール及びアルデヒド類を酸触媒下にて反応(1次反応)して得られるクレゾールノボラック樹脂低分子量縮合物に、メタクレゾール及びパラクレゾールから選ばれる少なくとも1種、又はメタクレゾール及びパラクレゾールから選ばれる少なくとも1種とアルデヒド類を加え、さらに反応(2次反応)させて得られるクレゾールノボラック樹脂であって、メタクレゾールとパラクレゾールのモル比が1次反応時に10/0〜4/6の範囲にあり、2次反応時に8/2〜2/8の範囲内にあり、かつ該クレゾールノボラック樹脂の重量平均分子量が1次反応終了時に3,000以下であり、最終生成物で3,500〜20,000であることを特徴とするポジ型ホトレジスト組成物。
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂及び(B)キノンジアジド基含有化合物を含むポジ型ホトレジスト組成物において、前記(A)成分が、メタクレゾール及びアルデヒド類、又はメタクレゾール、パラクレゾール及びアルデヒド類を酸触媒下にて反応(1次反応)して得られるクレゾールノボラック樹脂低分子量縮合物に、メタクレゾール及びパラクレゾールから選ばれる少なくとも1種、又はメタクレゾール及びパラクレゾールから選ばれる少なくとも1種とアルデヒド類を加え、さらに反応(2次反応)させて得られるクレゾールノボラック樹脂であって、メタクレゾールとパラクレゾールのモル比が1次反応時に10/0〜4/6の範囲にあり、2次反応時に8/2〜2/8の範囲内にあり、かつ該クレゾールノボラック樹脂の重量平均分子量が1次反応終了時に3,000以下であり、最終生成物で3,500〜20,000であることを特徴とするポジ型ホトレジスト組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/023 511
, G03F 7/004 501
, G03F 7/022
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
G03F 7/023 511
, G03F 7/004 501
, G03F 7/022
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
