ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小谷悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-373199
公開番号（公開出願番号）：特開2003-171758
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】低硬度の鉄系材料を基材として用い、この基材に対して比較的厚く形成しても優れた密着性を発揮することのできるDLC膜を最表面層として形成した硬質多層膜成形体を提供する。【解決手段】ダイヤモンドライクカーボンを主体とする最表面層と、鉄系材料基材の間に形成する中間層として、(1)Crおよび/またはAlの金属層からなる第1層、(2)Crおよび/またはAlの金属と、W,Ta,MoおよびNbよりなる群から選択される1種以上の金属の混合層からなる第2層、(3)W,Ta,MoおよびNbよりなる群から選択される1種以上の金属層からなる第3層、(4)W,Ta,MoおよびNbよりなる群から選択される1種以上の金属と炭素を含む非晶質層からなる第4層の4層が、基材側から最表面層側に向けて該記載順序で形成された4層構造とする。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドライクカーボンを主体とする膜を最表面層とし、更に中間層および基材を含んでなり、前記基材は鉄系材料からなると共に、前記中間層は、下記(1)〜(4)の4層が基材側から最表面層側に向けて該記載順序で形成された4層構造であることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体。(1)Crおよび/またはAlの金属層からなる第1層(2)Crおよび/またはAlの金属と、W,Ta,MoおよびNbよりなる群から選択される1種以上の金属の混合層からなる第2層(3)W,Ta,MoおよびNbよりなる群から選択される1種以上の金属層からなる第3層(4)W,Ta,MoおよびNbよりなる群から選択される1種以上の金属と炭素を含む非晶質層からなる第4層

IPC (2件)：

C23C 14/06 , B23C 5/16

FI (3件)：

C23C 14/06 F , C23C 14/06 N , B23C 5/16

Fターム (14件)：

4K029AA02 , 4K029BA01 , 4K029BA03 , 4K029BA07 , 4K029BA11 , 4K029BA16 , 4K029BA34 , 4K029BB02 , 4K029BB10 , 4K029BC02 , 4K029BD03 , 4K029BD05 , 4K029CA05 , 4K029EA08

引用特許：

出願人引用 (14件)

多層スパッタ成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-206400 出願人：日本空圧システム株式会社
保護膜被覆部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-038455 出願人：株式会社東研サーモテック
高密着性炭素皮膜形成材及びその製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-257298 出願人：株式会社神戸製鋼所

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審査官引用 (14件)

多層スパッタ成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-206400 出願人：日本空圧システム株式会社
保護膜被覆部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-038455 出願人：株式会社東研サーモテック
高密着性炭素皮膜形成材及びその製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-257298 出願人：株式会社神戸製鋼所

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