特許
J-GLOBAL ID：200903006948514463

投影露光装置および該投影露光装置を用いた半導体デバイスの製造方法

発明者：
武内 麻衣子

武内 麻衣子 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-309976
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142501
出願日： 1996年11月06日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 製造誤差や組立誤差などに起因して投影光学系に残存するコマ収差や非点収差やディストーションなどを随時補正する。【解決手段】 投影光学系(PL)の光軸と直交する面に沿って移動可能な少なくとも1つのレンズから構成されて投影光学系内に残存するディストーションを補正するための第1光学部材VD と、光軸と直交する面に沿って移動可能な少なくとも1つのレンズから構成されて投影光学系内に残存する非点収差を補正するための第2光学部材VA と、光軸と直交する面に沿って移動可能な少なくとも1つのレンズから構成されて投影光学系内に残存するコマ収差を補正するための第3光学部材VC とを備えている。
請求項（抜粋）：
第1物体を照明するための照明光学系と、該照明光学系によって照明された前記第1物体の像を第2物体上に投影するための投影光学系とを備えた投影露光装置において、前記投影光学系は、前記第1物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群と、正の屈折力を有する第6レンズ群とを備え、前記投影光学系は、前記投影光学系の光軸と直交する面に沿って移動可能な少なくとも1つのレンズから構成されて前記投影光学系内に残存するディストーションを補正するための第1光学部材と、前記光軸と直交する面に沿って移動可能な少なくとも1つのレンズから構成されて前記投影光学系内に残存する非点収差を補正するための第2光学部材と、前記光軸と直交する面に沿って移動可能な少なくとも1つのレンズから構成されて前記投影光学系内に残存するコマ収差を補正するための第3光学部材とを備え、前記第1光学部材は、前記第1レンズ群における少なくとも1つのレンズで構成され、前記第2光学部材は、前記第1レンズ群以外のレンズ群における少なくとも1つのレンズで構成され、前記第3光学部材は、前記第1レンズ群以外のレンズ群における少なくとも1つのレンズで構成されていることを特徴とする投影露光装置。
IPC (3件)：
G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D
引用特許：
審査官引用 (5件)
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