硬化されたシリコーン樹脂基材のエンボス加工方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：曾我道照 , 曾我道治 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 梶並順 , 大宅一宏
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-541178
公開番号（公開出願番号）：特表2007-516112
出願日： 2004年10月22日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

本発明は、(i)形状を含有する種型の表面が硬化されたシリコーン樹脂基材に面するように、種型と該シリコーン樹脂熱硬化性基材とを重ねること;(ii)該種型の軟化点よりは低いが該シリコーン樹脂のTgよりもわずかに高い温度での加圧下で(i)の生成物に圧力をかけること;(iii)(ii)の生成物を冷却して、かつ該型への圧力を維持すること;および(iv)該基材を剥離して、それゆえ該形状が該シリコーン樹脂基材上に刻まれること;を含む、硬化されたシリコーン樹脂熱硬化性基材をエンボス加工して種型から該基材上にパターンを刻む方法に関する。硬化されたシリコーン樹脂熱硬化性基材は、非常に滑らかな表面を提供することによって熱エンボス加工リソグラフィーに有機熱可塑性プラスティック以上の利点を提供し、マイクロメーターおよびナノメーターの領域内で複製の高忠実性を促進し、離型のための剥離剤が必要ない。

請求項（抜粋）：

(i)形状を含有する種型の表面がシリコーン樹脂基材に面するように、種型と該シリコーン樹脂熱硬化性基材とを重ねること; (ii)該種型の軟化点よりは低いが該シリコーン樹脂のTgよりもわずかに高い温度での加圧下で(i)の生成物に圧力をかけること; (iii)(ii)の生成物を冷却して、かつ該型への圧力を維持すること;および (iv)該基材を剥離して、それゆえ該形状が該シリコーン樹脂基材上に刻まれること; を含む、硬化されたシリコーン樹脂熱硬化性基材をエンボス加工して種型から該基材上にパターンを刻む方法。

IPC (5件)：

B29C 59/02 , C08L 83/05 , C08L 83/07 , C08K 5/54 , C08J 5/18

FI (5件)：

B29C59/02 Z , C08L83/05 , C08L83/07 , C08K5/54 , C08J5/18

Fターム (58件)：

4F071AA67 , 4F071AF27 , 4F071AF58 , 4F071AH12 , 4F071BA02 , 4F071BB02 , 4F071BC01 , 4F209AA33 , 4F209AD08 , 4F209AD20 , 4F209AF01 , 4F209AG03 , 4F209AG05 , 4F209AR06 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PN06 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 4J002CP041 , 4J002CP141 , 4J002DA117 , 4J002DD077 , 4J002EX006 , 4J002EX016 , 4J002FD157 , 4J002GQ05 , 4J246AA11 , 4J246AB13 , 4J246BA14X , 4J246BA140 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB022 , 4J246BB20X , 4J246BB200 , 4J246BB201 , 4J246CA01U , 4J246CA010 , 4J246CA14U , 4J246CA140 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA34U , 4J246CA34X , 4J246CA340 , 4J246CA40X , 4J246CA400 , 4J246FA061 , 4J246FA131 , 4J246FA232 , 4J246FC162 , 4J246GB11 , 4J246GB33 , 4J246GC18 , 4J246GC38 , 4J246GD08 , 4J246HA69

引用特許：

審査官引用 (3件)

パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-385458 出願人：松下電器産業株式会社
高い強度及び耐破壊性を有するシルセスキオキサン樹脂並びにそれらの調製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-201004 出願人：ダウ・コ-ニング・コ-ポレ-ション
塑性変形加工品及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-325971 出願人：日星電気株式会社

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