特許

J-GLOBAL ID：200903007052925363

交互配列の縁部構造を利用した音響共振器の性能向上

発明者： リチャード・シー・ルビー ,  ロナルド・シェーン・ファシオ ,  ホンジュン・フェン ,  ポール・ディー・ブラッドレイ
出願人/特許権者： アバゴ・テクノロジーズ・ワイヤレス・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド
代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-173458
公開番号（公開出願番号）：特開2007-006501
出願日： 2006年06月23日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

【課題】共振エネルギーの共振器外への分散を抑えた、品質係数の高い音響共振器を提供する。【解決手段】基板、前記基板に隣接しかつ外側周辺を有する第1の電極、前記第1の電極に隣接する圧電層、前記圧電層に隣接しかつ外側周辺を有する第2の電極を備えている音響共振器において、前記第1の電極および前記第2の電極の一方の周辺に、音響インピーダンスが異なる領域を交互に配列させた縁部領域もしくは枠を形成する。例えば、突出もしくは突入する部分を、リフトオフ法により電極に形成する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板、 前記基板に隣接しかつ外側周辺を有する第1の電極、 前記第1の電極に隣接する圧電層、 前記圧電層に隣接しかつ外側周辺を有する第2の電極、および 前記第1の電極および前記第2の電極の一方に設けられている交互配列の縁部領域を備えている、音響共振器。

IPC (5件)：

H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z

Fターム (17件)：

5J108AA01 ,  5J108CC01 ,  5J108CC11 ,  5J108DD06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108FF05 ,  5J108HH02 ,  5J108HH05 ,  5J108HH06 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 薄膜バルク波音響共振器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-141713   出願人：株式会社東芝
• テ-パ-付き電極及び電極縁部減衰材料を用いた半導体バルク音響共振器(SBAR)装置の横モ-ド抑制
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-180160   出願人：ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
• 共振子構造及びそのような共振子構造を有するフィルター
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-510982   出願人：ノキアコーポレイション