特許
J-GLOBAL ID：200903007127883564
薄膜圧電共振器
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
吉武 賢次
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-338065
公開番号（公開出願番号）：特開2005-109702
出願日： 2003年09月29日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】 凸型キャビティ構造に特有の共振特性劣化を回避することを可能にする。【解決手段】 平坦な表面をもつ基板2と、基板表面と略平行に空洞12を介して対向する平坦部8aと、平坦部を支持する如く基板表面まで下降し基板表面並びに平坦部とともに実質的に空洞を形成する傾斜部8bとを有する圧電体膜8と、平坦部の空洞側表面に設けられた下部電極6と、平坦部の空洞側表面とは反対側の略平行な表面に設けられ、下部電極と平坦部を介して向かい合う上部電極10とを備え、圧電体膜の下部電極および上部電極が向かい合う領域は平坦部内に制限されており、向かい合う領域の端が平坦部および傾斜部間の境から1μm以上離れていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平坦な表面をもつ基板と、
前記基板表面と略平行に空洞を介して対向する平坦部と、前記平坦部を支持する如く前記基板表面まで下降し前記基板表面並びに前記平坦部とともに実質的に前記空洞を形成する傾斜部とを有する圧電体膜と、
前記平坦部の前記空洞側表面に設けられた下部電極と、
前記平坦部の前記空洞側表面とは反対側の略平行な表面に設けられ、前記下部電極と前記平坦部を介して向かい合う上部電極と
を備え、
前記圧電体膜の前記下部電極および前記上部電極が向かい合う領域は前記平坦部内に制限されており、
前記向かい合う領域の端は前記平坦部および前記傾斜部間の境から1μm以上離れていることを特徴とする薄膜圧電共振器。
IPC (4件)：
H03H9/17
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/187
H03H9/17 F
, H01L41/18 101Z
, H01L41/18 101C
, H01L41/08 J
5J108AA00
, 5J108AA01
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108KK07
出願人引用 (2件)
-
音響共振器とその製作方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-154956
出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
-
米国特許第606,0818号明細書
審査官引用 (7件)
-
特開昭63-187714
-
圧電共振子、フィルタ及び電子機器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-283724
出願人：株式会社村田製作所
-
特開昭62-200813
全件表示
前のページに戻る
