特許

J-GLOBAL ID：200903007144392230

マイクロ・アクチュエータ

発明者： 野呂 誠 ,  山岸 秀章
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096408
公開番号（公開出願番号）：特開平7-308080
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 低消費電力、高速動作、ミクロン・オーダの小型化、他のIC等との混在、大量生産等が容易なマイクロ・アクチュエータを実現する。【構成】 固定部と、固定部に近接して配置され、固定部と接触した際に付着力により固定部と付着する可動部とを設ける。また、可動部を付着した固定部から分離させ、若しくは、前記固定部に接触させる駆動手段を設ける。

請求項（抜粋）：

固定部と、前記固定部に近接して配置され、前記固定部と接触した際に付着力により前記固定部と付着する可動部とを備えたことを特徴とするマイクロ・アクチュエータ。

IPC (4件)：

H02N 1/00 ,  H01H 13/20 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 静電リレー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-153536   出願人：松下電工株式会社
• 特開平4-058428
  
• 特開平3-112032
  
• 静電アクチユエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-232084   出願人：富士電機株式会社