マイクロ・アクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小沢信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096408
公開番号（公開出願番号）：特開平7-308080
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】低消費電力、高速動作、ミクロン・オーダの小型化、他のIC等との混在、大量生産等が容易なマイクロ・アクチュエータを実現する。【構成】固定部と、固定部に近接して配置され、固定部と接触した際に付着力により固定部と付着する可動部とを設ける。また、可動部を付着した固定部から分離させ、若しくは、前記固定部に接触させる駆動手段を設ける。

請求項（抜粋）：