特許
J-GLOBAL ID：200903007161242705

粘着テープ貼付け方法およびその装置

発明者：
山本 雅之

山本 雅之 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-009652
公開番号（公開出願番号）：特開2004-221469
出願日： 2003年01月17日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】ワークの表面に保護テープを貼り付ける粘着テープ貼付け装置において、粘着テープに応力を蓄積させること少なく、かつ、ワーク表面の凹凸段差に十分追従して密着貼付けを行うことができるようにする。【解決手段】ワークWを載置保持するチャックテーブル10と、載置保持されたワークWに向けて帯状の粘着テープTを供給するテープ供給手段と、供給される粘着テープTの表面に貼付けローラ25を接触させてワークWの表面に粘着テープTを貼り付ける貼付け手段と、貼付けローラ25を微振動させる振動発生機構28とを備えてある。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
貼付けローラまたは貼付けエッジ部材などの貼付け部材を粘着テープの表面に接触させ、ワークの表面にこの粘着テープを貼り付ける粘着テープ貼付け方法において、 前記粘着テープに微振動を与えながらワークに貼り付けてゆくことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。
IPC (3件)：
H01L21/304 ,  C09J7/02 ,  H01L21/68
FI (3件)：
H01L21/304 622J ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/68 N
Fターム (26件)：
4J004AB01 ,  4J004DB02 ,  4J004EA07 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA15 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA47 ,  5F031HA13 ,  5F031HA37 ,  5F031HA78 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA37 ,  5F067DA00
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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