配線板の検査方法及びその方法に用いる検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115616
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304704
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】精度に優れたパターン部の形状欠陥を検出でき、かつ変化の少ない色相欠陥を検出できる配線板の検査方法とその方法に用いる検査装置を提供すること。【解決手段】絶縁層の表面に導体回路が形成された配線板の検査を行う方法であって、検査対象をモノクロラインセンサで撮像した画像と、所定の輝度とを比較し、不良の判定を行うと共に、検査対象の真上からカラーエリアセンサで撮像し、撮像した画素ごとのR値、G値、B値を、色相値に換算し、所定の色相値と比較して不良の判定を行う配線板の検査方法と、検査対象を撮像するモノクロラインセンサと、検査対象を撮像するカラーエリアセンサと、判定装置からなり、判定装置には、モノクロラインセンサで撮像した画像と、所定の輝度とを比較し、不良の判定を行うシーケンスを備え、カラーエリアセンサで撮像した画像の画素ごとのR値、G値、B値を、色相値に換算し、所定の色相値と比較して不良の判定を行うシーケンスを備えた検査装置。

請求項（抜粋）：

絶縁層の表面に導体回路が形成された配線板の検査を行う方法であって、検査対象をモノクロラインセンサで撮像した画像と、所定の輝度を比較して不良の判定を行うと共に、検査対象の真上からカラーエリアセンサで撮像し、撮像した画素ごとのR値、G値、B値を、色相値に換算し、所定の色相値と比較して不良の判定を行うことを特徴とする配線板の検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01J 3/51 , H01L 23/12

FI (3件)：

G01N 21/88 J , G01J 3/51 , H01L 23/12 Z

Fターム (25件)：

2G020AA04 , 2G020BA17 , 2G020CB43 , 2G020CC63 , 2G020CD12 , 2G020CD24 , 2G020CD34 , 2G020DA02 , 2G020DA03 , 2G020DA32 , 2G020DA52 , 2G051AA65 , 2G051AB14 , 2G051AB20 , 2G051BA00 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051DA03 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA17 , 2G051EB01 , 2G051EB02

引用特許：

審査官引用 (10件)

基板の欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-055543 出願人：株式会社小松製作所
レジスト飛散検査装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-218125 出願人：三井金属鉱業株式会社
外観検査装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-039355 出願人：富士電機株式会社, 富士ファコム制御株式会社

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