特許
J-GLOBAL ID：200903054718612185
検査装置及び製品製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096399
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307599
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 オペレータの負荷を軽減し、低コストで製造品質向上に役立ち得る検査装置を提供する。【構成】 X-Yテーブル2で検査対象1を位置決めし、LED3a、...、3fとカメラ5で得た検査対象1の三次元表面形状より自動検査を行い、良好でないと判定された箇所の位置をメモリ12に記憶しておき、検査対象物1のその位置を白色環状光源4とカメラ6a、6bで撮像して、目視検査用に表示ユニット15で表示する。
請求項（抜粋）：
検査対象を位置決めする位置決め手段と、第1のセンシング手段を含み、前記位置決め手段により位置決めされた検査対象を自動的に検査する自動検査手段と、この自動検査手段により良好な品質でないと判定された箇所の位置データを記憶するメモリ手段と、第2のセンシング手段を含み、前記メモリ手段に記憶されている良好な品質でないと判定された箇所の位置データを用いて、検査対象の非良好判定箇所を撮像して表示する画像表示手段とからなり、前記第1と第2のセンシング手段が異なるセンシング手段であることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
H05K 13/08
, G01B 11/24
, G01N 21/84
