特許
J-GLOBAL ID：200903007244942989
圧電薄膜共振子、圧電フィルタ、およびそれを有する電子部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-117909
公開番号（公開出願番号）：特開2004-072715
出願日： 2003年04月23日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】共振のQを高めて、減衰特性に優れた圧電薄膜共振子、それを用いた圧電フィルタ、およびそれを備えた電子部品を提供する。【解決手段】支持基板2上に圧電薄膜5を形成する。圧電薄膜5を挟んで対向する下部電極4および上部電極6を設ける。下部電極4および上部電極6の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜5のスティフネスより大きい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
支持基板と、
支持基板上に形成された圧電薄膜と、
圧電薄膜を挟んで対向する第一電極および第二電極とを備え、
第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きいことを特徴とする圧電薄膜共振子。
IPC (4件)：
H03H9/17
, H03H9/02
, H03H9/58
, H03H9/70
H03H9/17 F
, H03H9/02 N
, H03H9/58 A
, H03H9/70
5J108AA04
, 5J108BB07
, 5J108CC11
, 5J108DD01
, 5J108DD02
, 5J108DD06
, 5J108DD07
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108FF05
, 5J108HH05
, 5J108KK01
, 5J108KK03
, 5J108KK07
