特許
J-GLOBAL ID:200903007266089228

脆性材料基板のブレーク方法及びその装置並びに加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 宜喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-298424
公開番号(公開出願番号):特開2004-131341
出願日: 2002年10月11日
公開日(公表日): 2004年04月30日
要約:
【課題】脆性基板のブレーク時に生じる分断面の不整形がないようにすると共に、貼り合わせ基板の共割れを防止すること。【解決手段】テーブル21上にゴム板22及びステンレス板23を設ける。その上部に切断の対象となるスクライブラインを有するガラス基板24を配置する。ガラス基板24の両側にはガラス基板24の高さとほぼ等しい高さのストッパ25を配置し、上部よりスクライブラインに合わせてブレークバー27で押圧する。こうすればガラス基板24の変形状態がゴム板22及びステンレス板23にも反映することとなり、分断面の変形をなくすことができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
テーブル上に所定の厚さの弾性シート及び硬性シートを積層して配置すると共に、脆性材料基板を配置し、 前記脆性材料基板の厚さとほぼ等しい高さを有するストッパを脆性材料基板の周囲に配置し、 前記テーブルに対して垂直に上下動自在に保持されたブレークバーにより前記脆性材料基板とその両側に設けられるストッパとをほぼ同時に押圧することによって、前記脆性材料基板をブレークすることを特徴とするブレーク方法。
IPC (4件):
C03B33/03 ,  B26F3/04 ,  C03B33/033 ,  C03B33/037
FI (4件):
C03B33/03 ,  B26F3/04 ,  C03B33/033 ,  C03B33/037
Fターム (9件):
3C060AA08 ,  3C060CD01 ,  4G015FA03 ,  4G015FA04 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02 ,  4G015FC10 ,  4G015FC11 ,  4G015FC14
引用特許:
審査官引用 (3件)

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