大気圧プラズマ発生照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-303354
公開番号（公開出願番号）：特開2008-098128
出願日： 2006年10月11日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】大面積に亘って高い密度の低温プラズマを短時間に作業性よく照射し、且つ反応ガスを有効に導入する大気圧プラズマ発生照射装置の提供。【解決手段】複数本の放電管2-2を担持するように加工された2個のバルク状金属を高電圧印加電極1-2および接地電極1-1とし、各放電管2-2で形成されたプラズマ流6を照射対象物8の形状に対応して集積する。また高電圧印加電極1-2の一部をプラズマ射出ノズルとすると供に、原始プラズマと混合すべき反応ガスなどの第2流体を導入口7から導入し、高電圧印加電極1-2内部で混合させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

プラズマ発生空間が石英、ガラス、セラミクス等の絶縁材料で分離独立して、放電管として確保されており、その管の外側からプラズマ発生および維持のためのエネルギーを供給すべきプラズマ形成用電極が一対、大気を誘電体バリアとして設置されてなる誘電体バリア放電装置であって該電極がバルク状の金属で形成されており、そのバルク金属に空けられた空隙を該放電管が複数本貫通して担持されてなる大気圧プラズマ発生照射装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 , H01L 21/306 , H01L 21/205 , C23C 16/50

FI (4件)：

H05H1/24 , H01L21/302 101E , H01L21/205 , C23C16/50

Fターム (27件)：

4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030CA07 , 4K030CA08 , 4K030FA01 , 4K030KA30 , 4K030LA18 , 5F004BA20 , 5F004BB11 , 5F004BB28 , 5F004BC03 , 5F004BD01 , 5F004DA00 , 5F004DA22 , 5F004DA23 , 5F004DA25 , 5F004DB03 , 5F004DB26 , 5F045AA08 , 5F045AC01 , 5F045AC15 , 5F045AC16 , 5F045AC17 , 5F045AE29 , 5F045AF07 , 5F045EF02 , 5F045EF08

引用特許：

出願人引用 (1件)

プラズマジェット発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-297850 出願人：科学技術振興事業団

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