ウエハカセット昇降装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-026704
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214480
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】発塵が少なく、信頼性の高いウエハカセット昇降装置を提供する。【解決手段】カセットローディング室2の下面を貫通して昇降する昇降ロッド41と、昇降ロッド41の上部に設けられた受台42と、受台42上に設けられた軸受43と、直交する支持板51、52を備えたステージ5と、二つの支持板51、52の接合部分の長手方向に沿って固定され、かつ軸受43に回転自在に支持された回転軸53とを備え、回転軸53に固定したローラ支持部材6と、ローラ支持部材6の先端に回転自在に支持したガイドローラと61、カセットローディング室2の下面に固定したカム部材7と、カム部材7に設け、ステージ5が回転軸53の回りに回転したときにガイドローラ61が移動する軌跡に沿って形成され、かつガイドローラ61が係合し得るカム溝71とを備えたものである。したがって、微細な塵の発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置のカセットローディング室の下面を貫通して昇降する昇降ロッドと、前記昇降ロッドの上部に設けられた平面状の受台と、前記受台上に設けられた軸受と、直交する二つの平面状の支持板を備えたステージと、前記二つの支持板の接合部分の長手方向に沿って固定され、かつ前記軸受に回転自在に支持された回転軸とを備えたウエハカセット昇降装置において、前記回転軸に固定したローラ支持部材と、前記ローラ支持部材の先端に回転自在に支持したガイドローラと、前記カセットローディング室の下面に固定したカム部材と、前記カム部材に設け、前記ステージが前記回転軸の回りに回転したときに前記ガイドローラが移動する軌跡に沿って形成され、かつ前記ガイドローラが係合し得るカム溝とを備えたことを特徴とするウエハカセット昇降装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

ウェハカセットエレベータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-040713 出願人：株式会社安川電機
特開平4-226048
処理装置及び処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-082400 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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