特許
J-GLOBAL ID：200903005460857462
処理装置及び処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082400
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273165
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 装置の小型化及び処理能力の向上が図れる処理装置及び処理方法を提供する。【構成】 縦型の熱処理炉2を収容した処理室1の搬出入口8に、複数枚の被処理体Wが垂直に収容されたキャリア7をその側面領域内の回転中心X回りに回動させて被処理体Wが垂直から水平になるよう姿勢変換する姿勢変換機構9を設ける。この姿勢変換機構9の上方に複数個のキャリア7を収容する収容部49を設け、搬送機構51により収容部49と姿勢変換機構9及び熱処理炉2の近傍との間でキャリア7を搬送する。また、移載機構52により熱処理炉2の近傍に搬送されたキャリア7と熱処理炉2内に搬出入される被処理体保持具5との間で被処理体Wを移載する。
請求項（抜粋）：
複数枚の被処理体が垂直に収容されたキャリアの搬出入口を有し、前記被処理体を熱処理する縦型の熱処理炉を収容した処理室と、この処理室内の前記搬出入口近傍に設けられ、前記キャリアをその側面領域内の回転中心回りに回動させて被処理体が垂直から水平になるように姿勢変換する姿勢変換機構と、この姿勢変換機構の上方に設けられ、姿勢変換された複数個のキャリアを収容する収容部と、この収容部と前記姿勢変換機構及び前記熱処理炉側との間でキャリアを搬送する搬送機構と、前記熱処理炉側に搬送されたキャリアと熱処理炉に搬入搬出される被処理体保持具との間で被処理体を移載する移載機構とを備えたことを特徴とする処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, H01L 21/22 511
, H01L 21/22
, H01L 21/31
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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