特許
J-GLOBAL ID：200903007399546168
ウェーハ研磨装置及びウェーハ製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175950
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009712
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 研磨パッドの劣化状態を容易に把握することができるとともに、ウェーハの研磨状態や研磨が完了した状態を安定して検出することができるウェーハ研磨装置及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】 ウェーハ保持ヘッド1は、ヘッド本体2内に張られたダイヤフラム5と、ダイヤフラム5に固定されたキャリア6と、キャリア6と同心状に配されたリテーナリング7と、流体室14の圧力を調整する圧力調整機構30と、ヘッド本体2のトルクをキャリア6及びリテーナリング7に伝達するためのキャリアトルク伝達機構40及びリングトルク伝達機構20と、これらトルク伝達機構に設けられたキャリアセンサ部41及びリングセンサ部21とを備えている。
請求項（抜粋）：
表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハを保持して前記研磨パッドにウェーハの一面を当接させるウェーハ保持ヘッドとを具備し、このウェーハ保持ヘッドと前記プラテンとをそれぞれ回転させることにより前記研磨パッドで前記ウェーハを研磨するウェーハ研磨装置であって、前記ウェーハ保持ヘッドは、天板部と該天板部の外周下方に設けられた筒状の周壁部とからなるヘッド本体と、前記ヘッド本体内にヘッド軸線に対し垂直に張られたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムと前記ヘッド本体との間に形成される流体室に満たされた流体圧力を調整する圧力調整機構と、前記ダイヤフラムに固定されこのダイヤフラムとともにヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、研磨すべきウェーハの一面を保持するためのキャリアと、前記周壁部の内壁と前記キャリアの外周との間に同心状に配置されるとともに、前記ダイヤフラムに固定され前記ダイヤフラムとともにヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、研磨時には研磨パッドに当接するリテーナリングと、前記ヘッド本体とリテーナリングとの間に円周方向に沿って複数設けられ、前記ヘッド本体のトルクを前記リテーナリングに伝達するためのリングトルク伝達機構と、前記それぞれのリングトルク伝達機構に設けられ、前記リテーナリングに作用する回転方向の力を観測するための複数のリングセンサ部と、前記それぞれのリングセンサ部に連結され、これらリングセンサ部からの出力に基づき前記リテーナリングに作用する力を算出する演算部とを備えたことを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 622
B24B 37/04 K
, B24B 37/04 E
, H01L 21/304 622 S
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA12
, 3C058AB04
, 3C058BA02
, 3C058BA05
, 3C058BA07
, 3C058BB04
, 3C058BB09
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA17
