特許
J-GLOBAL ID:200903007405377640

プロセスフロー作成方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野河 信太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-166055
公開番号(公開出願番号):特開平10-012508
出願日: 1996年06月26日
公開日(公表日): 1998年01月16日
要約:
【要約】【課題】 プロセスフローを作成、再編集する際の時間を短縮し、プロセスフローの管理を容易にする。【解決手段】 電子デバイスの製造におけるプロセスフローの作成に際し、製造工程に配置された装置で行われる個々の作業内容を登録しておき、それらの登録された作業内容を組み合わせることにより製造工程に配置された各装置における装置処理内容をそれぞれ設定し、それらの設定された装置処理内容に基づいて各工程を設定し、製造工程全体をプロセス的に意味のある単位で区切るようにそれらの設定された工程を組み合わせてブロック工程を設定し、それらの設定されたブロック工程を組み合わせてプロセスフローを作成する。
請求項(抜粋):
電子デバイスの製造におけるプロセスフローの作成に際し、製造工程に配置された装置で行われる個々の作業内容を登録しておき、それらの登録された作業内容を組み合わせることにより製造工程に配置された各装置における装置処理内容をそれぞれ設定し、それらの設定された装置処理内容に基づいて各工程を設定し、製造工程全体をプロセス的に意味のある単位で区切るようにそれらの設定された工程を組み合わせてブロック工程を設定し、それらの設定されたブロック工程を組み合わせてプロセスフローを作成することを特徴とするプロセスフロー作成方法。
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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