薬剤保持具、及びフォトマスクブランク収容容器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-096557
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297913
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できる薬剤保持具等を提供する。【解決手段】薬剤を保持するための薬剤保持具であって、複数枚のフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有するフォトマスクブランク収容容器における前記溝に収容可能な外径寸法及び形状を有し、かつ、前記薬剤保持具は、前記溝に前記薬剤保持具を収容したときに前記薬剤保持具の振動を防止しうる形態を有する(例えば、薬剤保持具1を、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状を有する形態とする)ことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

薬剤を保持するための薬剤保持具であって、複数枚のフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有するフォトマスクブランク収容容器における前記溝に収容可能な外径寸法及び形状を有し、かつ、前記薬剤保持具は、前記溝に前記薬剤保持具を収容したときに前記薬剤保持具の振動を防止しうる形態を有することを特徴とする薬剤保持具。

Fターム (9件)：

5F031CA07 , 5F031DA01 , 5F031DA08 , 5F031DA19 , 5F031EA10 , 5F031EA19 , 5F031PA07 , 5F031PA26 , 5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-073887 出願人：株式会社東芝
可搬式密閉コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-011674 出願人：神鋼電機株式会社
蒸気ドレーン装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-014959 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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