酸化アルミニウム蒸着フィルムおよびその製造法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-356404
公開番号（公開出願番号）：特開平11-170427
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】酸素ガスあるいは水蒸気等に対するハイバリア性を有し、かつ、透明性に優れ、更に、その表面の濡れ性が向上して印刷、ラミネ-ト加工、製袋等の後加工適性に優れ、飲食品、医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その他等の種々の物品の包装用材料として有用な透明ガスバリア性フィルムを提供することである。【解決手段】透明なプラスチックフィルムの上に、一般式AlOx (ただし、式中、Xは、0.3〜1.5の数である。)で表されるアルミニウムの酸化度を抑えた低酸化アルミニウムの蒸着膜を設け、更に、該低酸化アルミニウムの蒸着膜面に、酸素ガス、または、酸素とアルゴンとの混合ガスを使用したプラズマ処理を施して酸素原子を供給し、上記の低酸化アルミニウムの蒸着膜を構成するアルミニウムの酸化度を高めて高酸化アルミニウムの蒸着膜を設けることを特徴とする酸化アルミニウム蒸着フィルムに関するものである。

請求項（抜粋）：

透明なプラスチックフィルムの上に、一般式AlOx (ただし、式中、Xは、0.3〜1.5の数である。)で表されるアルミニウムの酸化度を抑えた低酸化アルミニウムの蒸着膜を設け、更に、該低酸化アルミニウムの蒸着膜面に、酸素ガス、または、酸素とアルゴンとの混合ガスを使用したプラズマ処理を施して酸素原子を供給し、上記の低酸化アルミニウムの蒸着膜を構成するアルミニウムの酸化度を高めて高酸化アルミニウムの蒸着膜を設けることを特徴とする酸化アルミニウム蒸着フィルム。

IPC (4件)：

B32B 9/00 , C08J 7/00 306 , C08J 7/04 , C23C 14/08

FI (4件)：

B32B 9/00 A , C08J 7/00 306 , C08J 7/04 P , C23C 14/08 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

蒸着フィルムの製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-244612 出願人：凸版印刷株式会社
特開昭63-223163
特開昭63-223163

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