カーボン製反応炉および熱分解窒化ホウ素成形体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-026716
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209875
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】不純酸素やNH3 ガスに侵され難く、腐食によって生成するCOガスやグラファイト微粒子により製品となるPBN成形体が汚染されないようにすると共に、寿命が長いCVD法によるPBN成形体製造用カーボン製反応炉と同炉を使用するPBN成形体の製造方法を提供する。【解決手段】 CVD法によるPBN成形体を製造するためのカーボン製反応炉において、少なくとも該反応炉を構成する反応容器の全表面および/または加熱用ヒータ全表面あるいはこれらの表面の一部を10μm〜6mm厚さのPBN膜で被覆する。

請求項（抜粋）：

CVD法による熱分解窒化ホウ素成形体を製造するためのカーボン製反応炉において、少なくともカーボン製反応炉を構成する反応容器の全表面および/または加熱用ヒータ全表面あるいはこれらの表面の一部が、熱分解窒化ホウ素膜により被覆されていることを特徴とするカーボン製反応炉。

IPC (3件)：

C23C 16/38 , C23C 16/44 , H01L 21/205

FI (3件)：

C23C 16/38 , C23C 16/44 B , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開昭63-277590
特開昭63-277590
特開平2-101168

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