回路パターンの検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-201458
公開番号（公開出願番号）：特開2005-044912
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】本発明は、回路パターンの画像比較検査時の画面機能を改良して、使い勝手のよい回路パターンの検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】回路パターンが形成された複数のダイを有する基板表面に光,レーザ光または荷電粒子線を照射する照射手段と、該照射によって基板から発生する信号を検出する検出手段と、該検出手段によって検出された信号を画像化して記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶されたダイの画像信号と他のダイの参照画像信号とを比較する際に指定されたダイの画像信号を参照画像信号として用いる比較手段と、該比較手段での比較結果から欠陥を判別する判別手段とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回路パターンが形成された複数のダイを有する基板表面に光,レーザ光または荷電粒子線を照射する照射手段と、該照射によって前記基板から発生する信号を検出する検出手段と、該検出手段によって検出された信号を画像化して記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶されたダイの画像信号と他のダイの参照画像信号とを比較する際に、指定されたダイの画像信号を参照画像信号として用いる比較手段と、該比較手段での比較結果から欠陥を判別する判別手段とを備えたことを特徴とする回路パターンの検査装置。

IPC (6件)：

H01L21/66 , G01N21/956 , G03F1/08 , G06T1/00 , G06T7/00 , H01L21/027

FI (7件)：

H01L21/66 J , G01N21/956 A , G03F1/08 S , G06T1/00 305A , G06T1/00 400D , G06T7/00 300E , H01L21/30 502R

Fターム (47件)：

2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA08 , 2G051ED11 , 2H095BD04 , 2H095BD13 , 2H095BD14 , 2H095BD27 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106AA09 , 4M106BA10 , 4M106CA38 , 4M106CA39 , 4M106DB21 , 5B047AA12 , 5B047BA02 , 5B047BB10 , 5B047BC05 , 5B047BC11 , 5B047BC16 , 5B047BC30 , 5B047CA04 , 5B047CA30 , 5B047DA01 , 5B047DB01 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA26 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC33 , 5L096BA03 , 5L096BA08 , 5L096CA18 , 5L096CA22 , 5L096CA24 , 5L096CA25 , 5L096DA02 , 5L096EA03 , 5L096EA05 , 5L096EA14 , 5L096FA69 , 5L096GA06 , 5L096GA51

引用特許：

審査官引用 (5件)

電子線式回路パターンの検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-022928 出願人：株式会社日立製作所
欠陥検査方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-276629 出願人：株式会社日立製作所
回路パターン検査装置、および回路パターン検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-340293 出願人：株式会社日立製作所

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