フォトレジスト噴射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-027791
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260282
出願日： 1997年02月12日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】窒素ガスの圧力を用いてフォトレジストを塗布させるフォトレジスト噴射装置を提供する。【解決手段】内部にフォトレジスト115 と大気部120 を有するタンク110と、タンク110 の側壁に連結されたフォトレジスト注入管150 と、タンク110 の床面に連結されたフォトレジスト排出管155 と、ガス注入口141 、ガス排出口142 及びこれらの間にタンク110 との連結部を有するT字形であり、前記連結部はフォトレジスト注入管150 より上部でタンク110 の内部の大気部120 に連結され、ガス注入口141 に流入されたガスのガス排出口142 への排出はタンク110 内の大気部120 の圧力を低下させることにより、タンク110 内に存在する空気及び気泡を前記連結部を通してガス排出口142 に排出させると共に、フォトレジスト注入管150 にフォトレジスト115 を充填させるガス管140 と、ガス管140 のガス排出口142 側に設けられ、タンク110 内の圧力変化に応じてフォトレジスト115 の充填時には開放、排出時には密閉するようになるバルブ145 とを含めて構成される。

請求項（抜粋）：

内部にフォトレジストと大気部を有するタンクと、前記タンクの側壁に連結されたフォトレジスト注入管と、前記タンクの床面に連結されたフォトレジスト排出管と、ガス注入管、ガス排出口及びこれらの間に前記タンクとの連結部を有するT字形であり、前記連結部は前記フォトレジスト注入管より上部で前記タンクの内部の大気部に連結され、前記ガス注入口に流入されたガスの前記ガス排出口への排出は前記タンク内の大気部の圧力を低下させることにより、前記タンク内に存在する空気及び気泡を前記連結部を通してガス排出口に排出させると共に、前記フォトレジスト注入管にフォトレジストを充填させるガス管と、前記ガス管のガス排出口側に設けられ、前記タンク内の圧力変化に応じて前記フォトレジストの充填時には開放、排出時には密閉するようになるバルブとを含めて構成されることを特徴とするフォトレジスト噴射装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 564 Z , H01L 21/30 564

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-074414
特開昭62-144327
特開平3-116818

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審査官引用 (3件)

特開平4-074414
特開昭62-144327
特開平3-116818

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