流体貯蔵および供給のためのシステムおよび方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-266918
公開番号（公開出願番号）：特開2005-042924
出願日： 2004年09月14日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】コスト、使いやすさおよび性能の点で非常に有利な、選択的にガスを供給するための改良された流体貯蔵および供給システムを提供する。【解決手段】流体貯蔵および供給システム(10)は流体(17)を所望の圧力にて保持するための容器(12)を含む。この容器は所定の圧力に設定される圧力レギュレータ(26)を有する。このレギュレータは、内部または外部のいずれに位置決めされてもよく、単一段または多段のいずれでもよく、および容器のポートに関連づけられる。供給アセンブリは、たとえばバルブ(20)のような流量制御手段を含み、レギュレータ(26)との間でガス/蒸気を流通するよう構成され、それによって、バルブを開くとガス/蒸気が容器(12)から供給される。この容器内の流体は、たとえば環境温度(室温)のような一般的な温度条件にてその液化圧力を超える圧力で容器内に閉じ込められる液体によって構成されてもよい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流体貯蔵および供給システムであって、流体を保持するための内部容積を封じ込める流体貯蔵および供給容器を含み、前記容器は流体流通ポートを含み、前記流体貯蔵および供給システムはさらに、前記流体流通ポートとの間で流体の流れを流通させるよう結合される流体供給アセンブリと、前記流体流通ポートに接続され、前記容器の前記内部容積内の流体に由来する前記容器から放出されるガスの所定の圧力を維持するよう配される流体圧力レギュレータとを含み、前記流体供給アセンブリは前記容器の前記内部容積にある流体に由来するガスを、前記流体圧力レギュレータおよび流体供給アセンブリを介して、前記容器から放出するために流すよう選択的に作動可能な流量制御要素を含み、したがって、前記放出中のガスは前記流量制御要素を通って流れる前に前記流体圧力レギュレータを通って流れる、流体貯蔵および供給システム。

IPC (5件)：

F17C7/00 , C23C14/24 , C23C16/448 , F17C13/00 , H01L21/205

FI (5件)：

F17C7/00 A , C23C14/24 A , C23C16/448 , F17C13/00 301A , H01L21/205

Fターム (12件)：

3E072AA01 , 3E072DB03 , 3E072GA30 , 4K029CA01 , 4K029CA10 , 4K029DB11 , 4K030EA01 , 5F045AC01 , 5F045AC05 , 5F045AC19 , 5F045EE02 , 5F045EE04

引用特許：

出願人引用 (20件)

米国特許第4,744,221号公報
米国特許第2,615,287号公報
米国特許第4,173,986号公報

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審査官引用 (5件)

流体貯蔵および供給システム
公報種別：公表公報出願番号：特願平11-554480 出願人：アドバンスト・テクノロジィ・マテリアルズ・インコーポレイテッド
特開昭49-058417
ガスボンベ用バルブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-268197 出願人：株式会社ネリキ

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