特許
J-GLOBAL ID：200903007695979258

サーボ機構

発明者：
山極 高

山極 高 について

, 
岡本 清和

岡本 清和 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (3件)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-282575
公開番号（公開出願番号）：特開2004-118635
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】単一または複数の振動モードを有する低剛性負荷の振動的挙動と外乱の影響を抑制し、低剛性負荷の移動と位置決めを精密に、かつ、速やかに行うことができるサーボ機構を提供する。【解決手段】モータ2およびモータ2の駆動速度を検出するモータ速度検出器4を有するモータ速度制御ループR3と、モータ2によって駆動される低剛性負荷3の位置を検出する位置検出器10を有する位置制御ループR1と、低剛性負荷3の負荷速度を検出する負荷速度検出手段5を有し、かつ、低剛性負荷3の低剛性またはロストモーション等によって発生する共振モードに対して相対次数をゼロとする特性を有する負荷速度特性補償要素13を備え、モータ速度制御ループR3と位置制御ループR1との間に設けられた負荷速度制御ループR2とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
モータおよび前記モータの駆動速度を検出するモータ速度検出手段を有するモータ速度制御ループと、 前記モータによって駆動される低剛性負荷の位置を検出する位置検出手段を有する位置制御ループと、 前記低剛性負荷の負荷速度を検出する負荷速度検出手段を有し、かつ、前記低剛性負荷の低剛性またはロストモーション等によって発生する共振モードに対して相対次数をゼロとする特性を有する制御特性補償要素を備え、前記モータ速度制御ループと前記位置制御ループとの間に設けられた負荷速度制御ループと を具備することを特徴としたサーボ機構。
IPC (1件)：
G05D3/12
FI (1件)：
G05D3/12 305V
Fターム (5件)：
5H303CC02 ,  5H303CC04 ,  5H303DD04 ,  5H303KK18 ,  5H303KK24
引用特許：
審査官引用 (4件)
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