特許
J-GLOBAL ID：200903007734680222

新規なポリマー及びそれらを含有してなるフォトレジスト組成物

発明者：
ピーター・トレフォナス・サード

ピーター・トレフォナス・サード について

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ゲイリー・エヌ・テイラー

ゲイリー・エヌ・テイラー について

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ジョージ・ジー・バークレー

ジョージ・ジー・バークレー について


出願人/特許権者：
シップレーカンパニー エル エル シー

シップレーカンパニー エル エル シー について


代理人 (1件)： 佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283271
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298347
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】【課題】 新規なポリマー及びこのポリマーを樹脂バインダー成分として含むフォトレジスト組成物を提供することにある。本発明のフォトレジスト組成物は193nm及び248nmを含む短波長に露光することで解像力の高いレリーフ像を与えることが可能である。本発明のレジストはまた、365nmなどの他の波長でのイメージングにも有用である。【解決手段】 本発明のポリマーには、約5個以上の炭素原子及び少なくとも2個の第二級、第三級又は第四級炭素原子を有するアルキル部からなるエステル基である光酸発生不安定単位を含むポリマーが包含される。エステル基のアルキル部は非環式又は単環脂環式基であってもよい。エステル基のカルボニル酸素(C=O(O))は、好ましくは、第四級炭素原子に直接的に結合していることが多い。
請求項（抜粋）：
光活性成分及びエステル基の繰り返し単位を含むポリマーからなる樹脂バインダーを含むフォトレジスト組成物であって、エステル基がカルボニル及びカルボキシル酸素原子を有し、少なくとも2個が第二級、第三級又は第四級炭素原子である約5個以上の炭素原子を有する任意に置換された非環状又は単環環式アルキル部を含み、かつエステル基カルボキシル基が第四級炭素原子に直接的に結合しているフォトレジスト組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039 601 ,  C08L 33/08 ,  C08L 33/10 ,  H01L 21/027 ,  C07C 67/14 ,  C07C 69/54
FI (7件)：
G03F 7/039 601 ,  C08L 33/08 ,  C08L 33/10 ,  C07C 67/14 ,  C07C 69/54 Z ,  C07C 69/54 B ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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