特許
J-GLOBAL ID:200903007767189664
金属積層フィルムの製造方法および金属積層フィルム
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-216045
公開番号(公開出願番号):特開2009-049302
出願日: 2007年08月22日
公開日(公表日): 2009年03月05日
要約:
【課題】熱安定性や寸法安定性に優れたCCLが得ることが可能で、高い信頼性を有する微細回路を作製することができる金属積層フィルムを提供する。【解決手段】剥離可能な耐熱性基板上の片面に金属層を形成する工程、この金属層上に非熱可塑性ポリイミド前駆体溶液を塗工しこれを乾燥、キュアして非熱可塑性ポリイミドフィルムを形成する工程、および、耐熱性基板を剥離する工程を含むセミアディティブ用金属積層フィルムの製造方法および、前記製造方法により得られるセミアディティブ用金属積層フィルム。【選択図】なし
請求項(抜粋):
剥離可能な耐熱性基板上の片面に金属層を形成する工程、この金属層上に非熱可塑性ポリイミド前駆体溶液を塗工しこれを乾燥、キュアして非熱可塑性ポリイミドフィルムを形成する工程、および、耐熱性基板を剥離する工程を含むセミアディティブ用金属積層フィルムの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (36件):
4F100AB01B
, 4F100AB01D
, 4F100AB013
, 4F100AB10
, 4F100AB17
, 4F100AK49C
, 4F100AR00A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA04
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10B
, 4F100BA10C
, 4F100BA10D
, 4F100EH46C
, 4F100EH66
, 4F100EH71
, 4F100EJ08C
, 4F100EJ082
, 4F100EJ42C
, 4F100EJ422
, 4F100EJ85
, 4F100EJ86C
, 4F100EJ861
, 4F100GB43
, 4F100JA03
, 4F100JA05
, 4F100JB13C
, 4F100JG04
, 4F100JJ03A
, 4F100JJ10
, 4F100JK06
, 4F100JK08
, 4F100JL14A
, 4F100JM02
引用特許:
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