特許
J-GLOBAL ID:200903007772719531
光素子モジュール
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-123391
公開番号(公開出願番号):特開平9-307122
出願日: 1996年05月17日
公開日(公表日): 1997年11月28日
要約:
【要約】【課題】 光素子を充分に気密封止でき、且つ小型化が可能な光素子モジュールを提供する。【解決手段】 レーザダイオード等の光素子12が気密封止される光素子モジュールにおいて、該光素子12が搭載されたシリコン基板10の一面側に形成された導電パターン14の一端部と、導電パターン14の一端部に電気的に接続された光素子12とが、シリコン基板10の一面側に封止ガラス層26を介して接合されたシリコンキャップ24によって封止され、且つ導電パターン14の他端部がシリコンキャップ24の外方に位置していることを特徴とする。
請求項(抜粋):
レーザダイオード等の光素子が気密封止されて成る光素子モジュールにおいて、該光素子が搭載されたシリコン基板の一面側に形成された導電パターンの一端部と、前記導電パターンの一端部に電気的に接続された光素子とが、前記シリコン基板の一面側に封止ガラス層を介して接合されたシリコンキャップによって封止され、且つ前記導電パターンの他端部がシリコンキャップの外方に位置していることを特徴とする光素子モジュール。
IPC (3件):
H01L 31/02
, H01L 33/00
, H01S 3/18
FI (3件):
H01L 31/02 B
, H01L 33/00 N
, H01S 3/18
引用特許: