特許
J-GLOBAL ID：200903007841016866
検出器及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
, 諏澤 勇司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-155772
公開番号（公開出願番号）：特開2009-301904
出願日： 2008年06月13日
公開日（公表日）： 2009年12月24日
要約：
【課題】ガスによる電子増倍作用を利用した場合に検出感度及び検出精度を高めること。【解決手段】この放射線検出器1は、ガスによる電子増倍作用を利用した放射線検出器において、両面間に電位差を与えることで前記両面間を貫通する貫通孔9内に電界を形成することができる無機材料からなる基板7と、基板7の両面上に形成された2つの金属薄膜8とを有する電子増倍部3a,3bを備えており、基板7には、2つの金属薄膜8を形成後に2つの金属薄膜8間を貫通するように形成された貫通孔9が設けられている。これにより、検出器の筐体2内のガス濃度の安定化が可能になる結果、入射光の検出精度を高められるとともに、増倍電子E2,E3が金属によってトラップされてしまうことも少なくなる結果、検出感度を高めることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガスによる電子増倍作用を利用した検出器において、
両面間に電位差を与えることで前記両面間を貫通する貫通孔内に電界を形成することができる無機材料からなる基板と、前記基板の両面上に形成された2つの金属膜とを有する電子増倍部を備えており、
前記基板には、前記2つの金属膜を形成後に前記2つの金属膜間を貫通するように形成された前記貫通孔が設けられている、
ことを特徴とする検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2G088GG01
, 2G088JJ09
, 2G088JJ31
, 2G088JJ37
, 5C038DD01
, 5C038DD10
, 5C038DD15
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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