特許
J-GLOBAL ID：200903020446059854
ガス電子増幅器、その製造方法及びガス電子増幅器を使用した放射線検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-126980
公開番号（公開出願番号）：特開2006-302844
出願日： 2005年04月25日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】 長時間動作を継続しても安定して動作するガス電子増幅器、その製造方法及びガス電子増幅器を使用した放射線検出器を提供する。【解決手段】 ドリフト電極100と捕集電極102との間には、板状多層体10が配置されており、この板状多層体10は、電子なだれ効果により電子増幅を行うガス電子増幅器として機能し、樹脂製の板状絶縁層12とこの板状絶縁層12の両面に被覆された平面状の金属層14、16とで構成されている。また、板状多層体10には、金属層14、16の平面に垂直な壁を有し、電界を集束させるための貫通孔構造18が複数形成されている。また、これらの構成要素を収容するチャンバ104内には、所定の検出用ガスが充填されている。チャンバ104内に侵入した電子は、貫通孔構造18において増幅され、捕集電極102で検出されて検出信号を検出部22が受け取る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検出用ガスが充填されたチャンバと、
前記チャンバに収容され、樹脂製の板状絶縁層とこの板状絶縁層の両面に被覆された平面状の金属層とにより構成された板状多層体と、
前記板状多層体に設けられ、前記金属層の平面に垂直な内壁を有する貫通孔構造と、
を備えることを特徴とするガス電子増幅器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2G088GG02
, 2G088JJ09
, 2G088JJ31
, 2G088JJ37
, 5C038DD01
, 5C038DD15
