特許

J-GLOBAL ID：200903007875605992

ICのICソケットへの接触機構

発明者： 三井 整 ,  遠藤 和哉
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048380
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227834
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 高い停止精度、常に安定した圧力、高い速度調整精度をもたせたICのICソケットへの接触機構を提供する。【解決手段】 可動軸2は、IC1を吸着保持する吸着パッド2Aを第1の端部にもち、吸着パッド2AがICソケット10から離反する方向に移動する力を付勢される。シリンダ3は、可動軸2の第1の端部と反対側の第2の端部側に配置され、可動軸2の軸線上を移動すると共に、駆動するとピストンロッド3Aが可動軸2をICソケット10側に押す。ねじ送り機構4は、シリンダ3に隣接配置され、シリンダ3をICソケット10側に移動する。IC1をICソケットに圧接する力は電子レギュレータ8の供給圧力で、IC1の移動速度はモータ4Eの回転速度で、押込量はモータ4Eの回転数で調整する。

請求項（抜粋）：

IC(1) を保持してICソケット(10)へ圧接する接触機構であって、IC(1) を吸着保持する吸着パッド(2A)を第1の端部にもち、吸着パッド(2A)がICソケット(10)から離反する方向に移動する力を付勢される可動軸(2) と、可動軸(2) の第1の端部と反対側の第2の端部側に配置され、可動軸(2) の軸線上を移動すると共に、駆動するとピストンロッド(3A)が可動軸(2) をICソケット(10)側に押す空気シリンダ(3) と、空気シリンダ(3) に隣接配置され、空気シリンダ(3) をICソケット(10)側に移動するねじ送り機構(4) とを備えることを特徴とするICのICソケットへの接触機構

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 23/32

FI (2件)：

G01R 31/26 Z ,  H01L 23/32 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-210627   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• ハンドラのコンタクトユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-062788   出願人：ソニー株式会社
• IC試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-204370   出願人：富士通株式会社