特許

J-GLOBAL ID：200903007954699030

集束イオンビーム加工による走査型顕微鏡用プローブ

発明者： 中山 喜萬 ,  秋田 成司 ,  原田 昭雄 ,  大川 隆 ,  高野 雄一 ,  安武 正敏 ,  白川部 喜治
出願人/特許権者： 中山 喜萬 ,  大研化学工業株式会社 ,  セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-403560
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162337
出願日： 2000年11月26日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 ナノチューブ探針を固定し、切断し、しかも他種類の原子の注入等でナノチューブ探針の材質改善を行うことができる走査型顕微鏡用プローブを実現する。【解決手段】 本発明に係る集束イオンビームによる走査型顕微鏡用プローブは、カンチレバー4に固着したナノチューブ探針12の先端14aにより試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、集束イオンビーム装置2内でイオンビームIにより有機ガスGを分解し、生成した分解成分の堆積物18によりナノチューブ12とカンチレバー4を固着することを特徴としている。また、集束イオンビームIを用いて、ナノチューブ先端部14に付着した不要堆積物24を除去したり、ナノチューブの不要部分を切断して探針の長さ制御を行ったり、ナノチューブ先端部14にイオンを注入してそのナノチューブ探針の改質を行える走査型顕微鏡用プローブを提供する。

請求項（抜粋）：

カンチレバー4に固着したナノチューブ探針12の先端14aにより試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、集束イオンビーム装置2内でイオンビームIにより有機ガスGを分解し、生成した分解成分の堆積物18によりナノチューブ12とカンチレバー4を固着することを特徴とした集束イオンビーム加工による走査型顕微鏡用プローブ。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  G12B 21/08

FI (4件)：

G01N 13/16 C ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  G12B 1/00 601 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プロセス管理システム及び集束イオンビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-068513   出願人：株式会社日立製作所
• 試料作製方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-044126   出願人：株式会社日立製作所