特許
J-GLOBAL ID:200903007972674907
アルカリ可溶性樹脂
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-055792
公開番号(公開出願番号):特開2006-241224
出願日: 2005年03月01日
公開日(公表日): 2006年09月14日
要約:
【課題】 感度、残膜率、現像性、解像度、多種多様な基板への密着性、可視光域における透明性、熱変色性、耐薬品性に優れ、特に耐熱性が極めて高く、様々な硬化条件においても所望のパターンを容易に形成することができるレジスト膜を形成し得る感放射線性樹脂組成物の主成分となるアルカリ可溶性樹脂を提供すること。【解決手段】 特定のビスキシレノールフルオレン構造を有するエポキシエステル化合物と、多価アルコールと、多塩基性カルボン酸またはその無水物とを反応させることにより得られる、アルカリ可溶性樹脂。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
下記一般式(1)で表されるエポキシエステル化合物(a1):
IPC (3件):
C08G 63/133
, G03F 7/023
, G03F 7/027
FI (3件):
C08G63/133
, G03F7/023
, G03F7/027 515
Fターム (41件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA09
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB30
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 4J029AA01
, 4J029AB01
, 4J029AB07
, 4J029AE18
, 4J029BD09B
, 4J029BD09C
, 4J029CA04
, 4J029CA05
, 4J029CB04A
, 4J029CD03
, 4J029CD04
, 4J029FC04
, 4J029FC05
, 4J029FC07
, 4J029FC08
, 4J029FC12
, 4J029FC14
, 4J029FC29
, 4J029FC43
, 4J029FC46
, 4J029GA13
, 4J029GA17
, 4J029HA01
, 4J029HA02
, 4J029HB01
, 4J029HB06
, 4J029KE02
, 4J029KE03
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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