特許
J-GLOBAL ID：200903008004416194
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
油井 透
, 阿仁屋 節雄
, 清野 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-038797
公開番号（公開出願番号）：特開2006-228857
出願日： 2005年02月16日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】基板処理に関するプログラムの編集画面において、編集画面の編集部分を、コンピュータ上のツールで変換することなく編集の内容を一目で理解できるようにする。【解決手段】 基板処理に関するプログラムの編集画面を表示する表示手段(モニタ227)と、前記表示手段に表示されキーにより編集された編集後の編集画面をキーログに関連付けて記憶手段に保存するキーログ保存手段(メモリ→HD(ハードディスク)書き込みモジュール53)と、前記記憶手段から前記編集後の編集画面を保存順に呼び出す次画面キー(Nextキー71)と逆順に呼び出す前画面キー(Prevキー69)と、編集後の編集画面の編集部分のうち前記キーにより編集された部分の画面表示形式を、編集画面の他の表示部分と区別可能に変更する表示形式変更手段(キーログデータと画面ファイルリンク表示モジュール54)とを備える。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板処理に関するプログラムの編集画面を表示する表示手段と、
前記表示手段に表示されキーにより編集された編集後の編集画面をキーログに関連付けて記憶手段に保存するキーログ保存手段と、
前記記憶手段から前記編集後の編集画面を保存順に呼び出す次画面キーと逆順に呼び出す前画面キーと、
編集後の編集画面の編集部分のうち前記キーにより編集された部分の画面表示形式を、前記編集画面の他の表示部分と区別可能に変更する表示形式変更手段と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
5F045AA03
, 5F045AF01
, 5F045DP19
, 5F045DQ05
, 5F045EB02
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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