微細パターンを有するメッキ用型、微細金属構造体、微細加工用型、微細パターンを有するメッキ用型の製造方法、および微細金属構造体の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-059999
公開番号（公開出願番号）：特開2004-084059
出願日： 2003年03月06日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】融点が高く、かつ機械強度も高い材質よりなる微細金属構造体を提供し、その微細金属構造体を製造することが可能な、微細パターンを有するメッキ用型およびその製造方法を提供し、その微細金属構造体よりなる微細加工用型およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の微細パターンを有するメッキ用型110は、μmオーダ以下の寸法の微細パターンを有し、かつ250°C以上の耐熱を有する材質よりなっている。このメッキ用型110を用いて溶融塩電鋳を行うことにより、機械強度の良好な微細金属構造体が製造される。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

μmオーダ以下の寸法の微細パターンを有し、かつ250°C以上の耐熱を有する材質よりなる、微細パターンを有するメッキ用型。

IPC (3件)：

C25D1/10 , C25D3/66 , H01L21/288

FI (3件)：

C25D1/10 311 , C25D3/66 , H01L21/288 E

Fターム (4件)：

4M104BB05 , 4M104BB13 , 4M104BB18 , 4M104DD52

引用特許：

審査官引用 (9件)

電鋳による薄板状複製型製造方法及び同装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-114101 出願人：株式会社リコー
微細パターン形成用の原版
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-322106 出願人：大日本印刷株式会社
特開昭62-156288

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