特許
J-GLOBAL ID：200903008112816930
感光性ペースト
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-110407
公開番号（公開出願番号）：特開平11-306964
出願日： 1998年04月21日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を低コストで可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、該感光性有機成分が、下記一般式(I)で表される光重合開始剤を含むことを特徴とする感光性ペースト。【化1】ただし、上記の一般式(I)において、R1、R4は、それぞれ独立にハロゲン原子、水酸基、炭素数1〜13のアルキル基又はアルキルオキシ基、フェニル基、ベンジル基、モルホリノ基、R5S-、(R6)2N-、SO2R7-、HOR8O-(R5、R6、R7、R9はアルキル基を表す)から選ばれた基であり、R2、R3は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、フェニル基、ベンジル基、アルキル基、アルキルオキシ基から選ばれる。
請求項（抜粋）：
無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、該感光性有機成分が、下記一般式(I)で表される光重合開始剤を含むことを特徴とする感光性ペースト。【化1】ただし、上記の一般式(I)において、R1、R4は、それぞれ独立にハロゲン原子、水酸基、炭素数1〜13のアルキル基又はアルキルオキシ基、フェニル基、ベンジル基、モルホリノ基、R5S-、(R6)2N-、SO2R7-、HOR8O-(R5、R6、R7、R9はアルキル基を表す)から選ばれた基であり、R2、R3は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、フェニル基、ベンジル基、アルキル基、アルキルオキシ基から選ばれる。
IPC (5件)：
H01J 9/02
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, G03F 7/029
, G03F 7/031
H01J 9/02 F
, C08F 2/44 A
, C08F 2/50
, G03F 7/029
, G03F 7/031
