特許
J-GLOBAL ID：200903008213908177
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-103615
公開番号（公開出願番号）：特開2003-291356
出願日： 2002年04月05日
公開日（公表日）： 2003年10月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、インク流路基板の貫通孔を貫通孔の外周のみをエッチングして形成するプロセスにおいて、作業効率を低下させることなくインク流路基板を形成する方法を提案することを課題とする。【解決手段】 インクジェットヘッドの主要部品であるインク流路基板を形成するためのシリコンウェハにドライエッチングを施して、貫通孔である位置合せ用基準孔と共通インク室を貫通孔の外周のみをエッチングして形成するにあたり、外周のみのエッチングで生ずる不用なシリコンがシリコンウェハから脱落しないようにシリコンウェハと不用なシリコンをリブで連結する。その結果、不用なシリコンがドライエッチング装置のチャンバ内に残存することがなくなり、ウェハ毎にチャンバ内の不用なシリコンを除去する手間が省け、作業効率を低下させることなくインク流路基板を形成できる。
請求項（抜粋）：
圧力室、及びインク供給路と、該インク供給路に連通する共通インク室が形成された単結晶シリコンを構成材料とするインク流路基板を用いたインクジェットヘッドにおいて、インク流路基板の貫通孔を形成する個所には輪郭に沿って溝を形成すると共に単結晶シリコンの溝外部の側壁と前記溝内部とをリブで連結した上で、前記単インク流路基板をドライエッチングにより穿孔するようにしたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Fターム (6件)：
2C057AF93
, 2C057AP32
, 2C057AP52
, 2C057AP56
, 2C057AP77
, 2C057AQ02
