特許
J-GLOBAL ID:200903008239570530
ハンドリング用ロボット
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
浜本 忠 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-065700
公開番号(公開出願番号):特開平9-272084
出願日: 1996年03月22日
公開日(公表日): 1997年10月21日
要約:
【要約】【課題】 ハンドリング用ロボットAを旋回することなくステーション内のウエハを交換することができるようにする。【解決手段】 3個のボス20a,20b,20cを回転中心の軸方向に位置をずらせて設け、第1のボス20aに第1のアーム26aを、第2のボス20bに第2,第3のアーム26b,26cを、第3のボス26cに第4のアーム26dを、それぞれのボスに対して放射方向に、かつ第2,第3の両アームは第2のリング状ボスに対して直径方向両側に、また第3と第4のアームもボスの直径方向両側に設け、第1,第2のアームの長さをR1 ,R1 ′とし、第3,第4のアームの長さをR2 ,R2 ′として、R1 >R2 、R1 ′>R2 ′とし、第1,第2のアームの先端にリンクを介して第1の搬送台8aを、第3,第4のアームの先端にリンクを介して第2の搬送台8bを、回転中心の軸方向に隣接して重ね合う状態に連結し、上記各ボスに駆動源を連結する。
請求項(抜粋):
第1,第2,第3のボスを同心状で、かつそれぞれ独立して回転するようにして回転中心の軸方向に位置をずらせて設け、第1のボスに第1のアームを、第2のボスに第2,第3のアームを、第3のボスに第4のアームを、それぞれのボスに対して放射方向に、かつ第2,第3の両アームは第2のボスに対して直径方向両側に位置して設け、上記第1,第2のアームの長さをそれぞれのR1 ,R1 ′とし、第3,第4のアームの長さをそれぞれR2 ,R2 ′とすると共に、R1 >R2 、R1 ′>R2′とし、第1,第2のアームの先端にリンクを介して第1の搬送台を、また第3,第4のアームの先端にリンクを介して第2の搬送台を、この両搬送台が、第1と第2のアームがボスの直径方向両側に位置し、さらに第3と第4のアームもボスの直径方向両側に位置した状態で、これらを結ぶ線より搬送台の突出動方向へずれた位置となると共に、回転中心の軸方向に隣接して重ね合う状態となるようにして連結し、上記各ボスに駆動源を連結したことを特徴とするハンドリング用ロボット。
IPC (3件):
B25J 9/06
, B25J 17/00
, B25J 18/02
FI (3件):
B25J 9/06 A
, B25J 17/00 H
, B25J 18/02
引用特許:
審査官引用 (7件)
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特開平2-083182
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ウエハ移載ロボツト
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-266639
出願人:日本電気株式会社
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ウェーハ受渡し機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-119118
出願人:九州日本電気株式会社
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基板搬送装置及び半導体製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-129998
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立画像情報システム
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特開平2-083182
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被処理物の搬送装置および処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-024095
出願人:株式会社東芝
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基板搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-068218
出願人:日新電機株式会社
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