帯電防止装置及び帯電防止方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：羽切正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-200494
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036065
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】シリコンウェーハなどの基板の切断等に供される液体の帯電をほとんど労せず、しかも効果的に防止し得る帯電防止装置及び帯電防止方法を提供すること。【構成】上記液体に予め超音波を照射することによって比抵抗値を低下させ、以て帯電防止を図っている。

請求項（抜粋）：

液体を貯留する貯留槽と超音波励振手段とを備え、該超音波励振手段により前記液体に超音波を照射することによって前記液体の比抵抗値を低下させて帯電防止をなすことを特徴とする帯電防止装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

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