搬送機構の基準位置補正装置及び基準位置補正方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-331213
公開番号（公開出願番号）：特開2004-160613
出願日： 2002年11月14日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】1本の検査光を用いることによりX軸方向、Z軸方向、θ軸方向及びR軸方向の全ての方向の基準位置補正を行うことが可能な搬送機構の基準位置補正装置を提供する。【解決手段】水平方向へ移動する移動体に対して回転基台48を設け、回転基台に2つのアーム機構50A,52Aを設け、各アーム機構の先端にピックをそれぞれ取り付けて被処理体を搬送する搬送機構の基準位置補正装置において、移動体の移動する水平方向に対して交差させて水平方向へ検査光を射出する発光部66と、検査光を受光する受光部68と、回転基台の旋回角度の範囲内での旋回に対して検査光の通光と遮光との切り替えを生ぜしめる光切り替え部70と、検査光に対する受光部の検出結果に基づいて水平方向、旋回方向、上下方向及び屈伸方向に対する各基準位置を補正する補正手段とを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

水平方向へ移動可能になされた移動体に対して旋回可能及び上下方向へ昇降可能になされた回転基台を設け、該回転基台に互いに離間させて異軸の状態で2つの屈伸可能になされたアーム機構を設け、該各アーム機構の先端に被処理体を保持するピックをそれぞれ取り付けて前記被処理体を搬送するようにした搬送機構の基準位置補正装置において、前記移動体の移動する水平方向に対して交差するように水平方向へ検査光を射出する発光部と、前記検査光を受光する受光部と、前記回転基台に設けられて、該回転基台の旋回に対して前記検査光の通光と遮光との切り替えを生ぜしめる光切り替え部と、前記検査光に対する前記受光部の検出結果に基づいて、水平方向、旋回方向、上下方向及び屈伸方向に対する各基準位置を補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする搬送機構の基準位置補正装置。

IPC (4件)：

B25J13/08 , G01B11/00 , G01B11/26 , H01L21/68

FI (4件)：

B25J13/08 Z , G01B11/00 A , G01B11/26 Z , H01L21/68 F

Fターム (48件)：

2F065AA02 , 2F065AA20 , 2F065AA31 , 2F065BB15 , 2F065EE00 , 2F065FF02 , 2F065FF66 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065HH15 , 2F065JJ01 , 2F065LL30 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ23 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007KS16 , 3C007KS20 , 3C007KV12 , 3C007KX19 , 3C007LT14 , 3C007LT17 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031FA15 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031HA58 , 5F031HA59 , 5F031JA05 , 5F031JA14 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031LA12 , 5F031MA04 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA32 , 5F031NA05 , 5F031NA07

引用特許：

審査官引用 (6件)

搬送システムの搬送位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-321501 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平3-104575
基板搬送装置及びこれを備えた基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-251371 出願人：株式会社カイジョー

全件表示

前のページに戻る