特許
J-GLOBAL ID：200903033312731844

搬送システムの搬送位置合わせ方法

発明者：
西中山 康彦

西中山 康彦 について

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石沢 繁

石沢 繁 について

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佐伯 弘明

佐伯 弘明 について

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河野 高

河野 高 について

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大沢 哲

大沢 哲 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-321501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-127069
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ティーチング基準位置における位置合わせを、精度良く且つ効率的に行なうことができる搬送システムの搬送位置合わせ方法を提供する。【解決手段】 被搬送体Wを保持するフォーク48を有する搬送アーム部20と、この搬送アーム部を移動させる移動機構30と、搬送アーム部の移動エリア内に配置された少なくとも1つ以上の容器載置台24と、被搬送体の偏心量と偏心方向と切り欠き目印64の回転位置を光学的センサ62により検出する方向位置決め装置36と、全体の動作を制御する制御部72とを備えて位置合わせを行なう搬送システムの搬送位置合わせ方法において、マニュアルにより被搬送体を正確に位置合わせして載置したり、被搬送体を受け取りに行き、これを方向位置決め装置に搬送してその偏心量或いは切り欠き目印の回転誤差を求めることにより真に正しい適正位置座標を得ることができる。
請求項（抜粋）：
屈伸、旋回及び昇降自在になされた搬送アーム本体の先端に被搬送体を保持するフォークを有する搬送アーム部と、この搬送アーム部を案内レールに沿って移動させる移動機構と、複数の被搬送体を所定のピッチで多段に収容できるカセット容器を載置するために、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置された少なくとも1つ以上の容器載置台と、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置されて、回転基準台に載置された被搬送体の偏心量と偏心方向とこの被搬送体の周縁部に形成されている切り欠き目印の回転位置を光学的センサにより検出することができる方向位置決め装置と、全体の動作を制御する制御部とを備えてティーチング基準位置に対して前記搬送アーム部の位置合わせを行なう搬送システムの搬送位置合わせ方法において、前記制御部に前記搬送アーム部の複数のティーチング基準位置の仮の位置座標を予め入力する工程と、前記搬送アーム部の前記フォークに正確に位置合わせして保持させた前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記方向位置決め装置ティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記容器載置台上に載置した前記カセット容器内の所定の位置の容器ティーチング基準位置に正確に位置合わせして収容した被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記容器ティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程とを備えたことを特徴とする搬送システムの搬送位置合わせ方法。
IPC (3件)：
B25J 9/10 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
B25J 9/10 A ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/68 A
Fターム (36件)：
3F059AA01 ,  3F059AA14 ,  3F059AA16 ,  3F059BA05 ,  3F059BA08 ,  3F059BB05 ,  3F059DA02 ,  3F059DC07 ,  3F059DD11 ,  3F059FA01 ,  3F059FB16 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA17 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA43 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA05 ,  5F031JA22 ,  5F031JA29 ,  5F031JA35 ,  5F031KA11 ,  5F031KA14 ,  5F031LA12 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09
引用特許：
審査官引用 (7件)
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