特許

J-GLOBAL ID：200903008278808323

電子放出素子、電子源および画像表示装置の製造方法

発明者： 教學 正文
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-037702
公開番号（公開出願番号）：特開2005-228662
出願日： 2004年02月16日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】 触媒を配した領域に炭素を含むファイバーを成長させる場合、カソード電極とゲート電極との間を架橋するように、特異的に長い、炭素を含むファイバーが成長する場合がある。【解決手段】 触媒を有する第1電極と、第2電極とを有する基体を用意する第1工程と、炭素含有ガスを前記触媒に接触させて前記基体を加熱することにより、前記第一電極上に炭素を含むファイバーを複数成長させる第2工程と、を有しており、前記第2工程は、さらに、炭素を含むファイバーを破壊するのに足る電流を生ずる電圧を前記第1電極と第2電極との間に印加する、電圧印加工程を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

炭素を含むファイバーを複数有する電子放出素子の製造方法であって、 触媒を有する第1電極と、第2電極とを有する基体を用意する第1工程と、 炭素含有ガスを前記触媒に接触させて前記基体を加熱することにより、前記第一電極上に炭素を含むファイバーを複数成長させる第2工程と、を有しており、 前記第2工程は、さらに、炭素を含むファイバーを破壊するのに足る電流を生ずる電圧を前記第1電極と第2電極との間に印加する、電圧印加工程を有する、 ことを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (1件)：

H01J9/02

FI (1件)：

H01J9/02 B

Fターム (9件)：

5C127AA01 ,  5C127BA09 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC03 ,  5C127DD62 ,  5C127DD70 ,  5C127EE05 ,  5C127EE12

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第6423583号明細書
  
• 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-254636   出願人：キヤノン株式会社
• 電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像形成装置の製造方法と、電子放出素子の活性化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-182048   出願人：キヤノン株式会社