特許
J-GLOBAL ID:200903008318587392

研磨機におけるワーク保持装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-330838
公開番号(公開出願番号):特開2001-150341
出願日: 1999年11月22日
公開日(公表日): 2001年06月05日
要約:
【要約】【課題】 ワークの従属回転性を向上するとともにワークの振動現象をなくして、研磨精度の向上を図る。【解決手段】 ワーク1を保持する回転部材2を支持リンク3に回転部材2の外周でラジアル軸受8により回転自在に支持されるとともに回転部材2の回転中心を通る線(ワークの回転軸)c上で回転部材2に一体のピボット5と支持リンク3に設けられた受け部6とからなるピボット軸受7により支持することにより研磨機におけるワーク保持装置を構成する。
請求項(抜粋):
光学素子等の研磨におけるワークの回転軸を、直交する2軸を介して研磨機上軸に支持したリンク式保持装置において、ワークを保持して同ワークを回転するための回転部材を、同回転部材の回転軸上でスラスト方向に軸受けするピボット軸受と、上記回転部材の外周をラジアル方向に軸受けするラジアル軸受とにより、支持リンクに回転自在に支持させるように構成した研磨機におけるワーク保持装置。
IPC (2件):
B24B 41/06 ,  B24B 13/005
FI (2件):
B24B 41/06 Z ,  B24B 13/005 Z
Fターム (4件):
3C034BB75 ,  3C049AB05 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • ワーク保持装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-259660   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • ピボット玉軸受
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-280278   出願人:愛三工業株式会社
  • 回転電機
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-031724   出願人:株式会社東芝
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