特許
J-GLOBAL ID：200903008440486858
熱処理装置のシャワーヘッド構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290504
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111626
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 パーティクルの発生を抑制することができる熱処理装置のシャワーヘッド構造を提供する。【解決手段】 被処理体Wに所定の熱処理を施す処理容器20の天井部70に設けられた熱処理装置のシャワーヘッド構造において、処理ガスを導入するガス導入ポート79を有して下端が開放された中空状のシャワーヘッド本体74と、このシャワーヘッド本体の下端の開放部80を閉じるように設けられると共に前記処理ガスを放出する複数のガス噴射孔86を有するシャワーヘッド蓋体84と、前記シャワーヘッド本体の下端部に設けられて前記シャワーヘッド蓋体を保持するカラー部材82とを備えるようにする。これにより、シャワーヘッド本体とシャワーヘッド蓋体とが直接接触することをなくし、熱伸縮に伴なうパーティクルの発生を抑制する。
請求項（抜粋）：
被処理体に所定の熱処理を施す処理容器の天井部に設けられた熱処理装置のシャワーヘッド構造において、処理ガスを導入するガス導入ポートを有して下端が開放された中空状のシャワーヘッド本体と、このシャワーヘッド本体の下端の開放部を閉じるように設けられると共に前記処理ガスを放出する複数のガス噴射孔を有するシャワーヘッド蓋体と、前記シャワーヘッド本体の下端部に設けられて前記シャワーヘッド蓋体を保持するカラー部材とを備えたことを特徴とする熱処理装置のシャワーヘッド構造。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, H01L 21/285
, H01L 21/31
H01L 21/205
, H01L 21/285 C
, H01L 21/31 B
