浮上搬送方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243440
公開番号（公開出願番号）：特開2001-063822
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】湾曲した板状体の浮上搬送をする際に、この板状体が搬送面に接触することを防ぐ浮上搬送方法を提供する。【解決手段】少なくとも一部分が凸状に湾曲している面を持つウエハ1の凸面1Aが搬送面11と向かい合うように、ウエハ1を搬送面11に対して配置し、ウエハ1を搬送面11から浮上させて、搬送面11に沿って移動させる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一部分が凸状に湾曲している凸面を持つ板状体の前記凸面が搬送面と向かい合うように、前記板状体を前記搬送面に対して配置し、前記板状体を前記搬送面から浮上させて、前記搬送面に沿って移動させることを特徴とする浮上搬送方法。

IPC (2件)：

B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/07 J , H01L 21/68 A

Fターム (3件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031GA62

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開昭51-037848
特開昭51-037484
特開昭50-079085

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