特許

J-GLOBAL ID：200903008483738176

マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ

発明者： コンラディ,オラルフ ,  ビットナー,ボリス ,  ブライジイステル,サシャ ,  ハウフ,マルクス ,  フメル,ヴォルフガング ,  カツィ,アリフ ,  トロスバッハ,ベアベル ,  ウェーバー,ヨッヘン ,  ホルデーラー,フーベルト ,  タエバチ,パヤン
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-523209
公開番号（公開出願番号）：特表2009-503826
出願日： 2006年07月24日
公開日（公表日）： 2009年01月29日
要約：

マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズは、回転非対称結像誤差を低減させるためのマニピュレータ(M;M’)を備える。転じてマニピュレータは、レンズ(52;52’)、光学素子(50;50’)及び、レンズ(52;52’)と光学素子(50;50’)との間に形成され液体(62)で満たすことができる間隙(54;54’)を含む。さらに、もっぱらレンズ(52;52’)だけに作用する少なくとも1個のアクチュエータ(711〜718)が設けられており、それらはレンズの回転非対称変形を生成することができる。

請求項（抜粋）：

回転非対称結像誤差を低減させるためのマニピュレータ(M1〜M11)を備えるマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、マニピュレータは、 a)屈折形式の第1の光学素子(52;252;352、452;552;652;752;852;950;1052;1152)と、 b)第2の光学素子(50;250;350;550;650;750;850;950;1050;1150)と、 c)第1の光学素子と第2の光学素子との間に形成された間隙(54;254;354;554;654;754;854;954’;1054)と、 d)間隙を満たしている液体(62;62’)と、 e)アクチュエータの動作が第1の光学素子の回転非対称変形を生じるように第1の光学素子と結合されたアクチュエータ(711〜718;2711、2712;3711〜3718;471;571;671;7711〜7718;8711〜8714;9711〜9714;10711〜10715;11711〜11715)とを備える、投影対物レンズ。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/00 ,  G03F 7/20

FI (4件)：

H01L21/30 515D ,  G02B7/00 D ,  G02B7/00 B ,  G03F7/20 521

Fターム (17件)：

2H043AA06 ,  2H043AA11 ,  2H043AA21 ,  2H043AA24 ,  2H043AA27 ,  2H043AB03 ,  2H043AB04 ,  2H043AB05 ,  2H043AB06 ,  2H043AB31 ,  2H043AB38 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA11 ,  5F046DA14 ,  5F046DA27

引用特許：

出願人引用 (18件)

• 米国特許第5296891号明細書
  
• 日本国特許第2002131513A号明細書
  
• 日本国特許第2001013306A号明細書
  
• 欧州特許第0291596B1号明細書
  
• 米国特許第4289379号明細書
  
• 米国特許第5523193号明細書
  
• 米国特許第5229872号明細書
  
• 米国特許第6338823B1号明細書
  
• 米国特許出願第2001/0008440A1号明細書
  
• 国際公開第2006/053751A2号パンフレット
  
• 米国特許第5665275号明細書
  
• 米国特許第5684637号明細書
  
• 日本国特許出願第8114703A号明細書
  
• 光学システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-384921   出願人：カール・ツアイス・スティフツング
• 光学特性可変光学素子を含む光学系及び光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-213284   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• レンズの赤道直径の微少な変化による可変焦点レンズ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-534317   出願人：シャチャール,ロナルドエー.
• 焦点可変レンズ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-309361   出願人：オムロン株式会社
• 光学系、特にマイクロリソグラフィの投影露光装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-556280   出願人：カール・ツアイス・スティフツング・トレーディング・アズ・カール・ツアイス

審査官引用 (5件)

• 光学システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-384921   出願人：カール・ツアイス・スティフツング
• 光学特性可変光学素子を含む光学系及び光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-213284   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• レンズの赤道直径の微少な変化による可変焦点レンズ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-534317   出願人：シャチャール,ロナルドエー.
• 焦点可変レンズ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-309361   出願人：オムロン株式会社
• 光学系、特にマイクロリソグラフィの投影露光装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-556280   出願人：カール・ツアイス・スティフツング・トレーディング・アズ・カール・ツアイス