特許
J-GLOBAL ID：200903008493918229
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-417128
公開番号（公開出願番号）：特開2005-174883
出願日： 2003年12月15日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】 試料のシュリンクによる測長精度の低下を改善する走査電子顕微鏡の走査法を提供する。【解決手段】 走査線の走査順序を変化させて試料上の同一場所に対する1度目と2度目の走査間の時間を短縮することで、シュリンク量の少ない時に連続して走査を行う。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
電子線源と、該電子線源より放出された電子線を試料上に収束して走査する電子線走査部と、電子線照射によって試料から発生した二次信号を検出する検出器と、前記検出器によって検出された二次信号をもとに複数の画像信号を積算して試料画像を形成する描画部とを備える走査電子顕微鏡において、
前記電子線走査部によって試料上に走査される電子線の走査パターンが選択可能に複数用意され、前記複数の走査パターンは、試料上の走査領域中の各電子線照射位置が一度電子線照射を受けてから次に電子線照射を受けるまでの時間がそれぞれ異なる走査パターンであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5C033FF03
, 5C033UU01
, 5C033UU08
出願人引用 (1件)
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走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-331644
出願人：株式会社日立製作所
審査官引用 (2件)
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