現像液製造装置及び現像液製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-030020
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324753
出願日： 2002年02月06日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】使用側において所望濃度の現像液を精度よく且つ迅速に製造することができ、多品種小ロットの基板製造に対応し得る現像液製造方法及び装置を提供する。【解決手段】現像液製造装置200は、現像原液及び純水が供給される調製槽105と、これに連設された平準化槽202を備えている。また、平準化槽202は、電子回路が形成される加工設備に管路114を介して接続されている。調製槽105では、液量測定手段106及びアルカリ濃度測定手段107からの測定信号に基づき、液量制御手段108によって槽内の現像液量が調整されると共に、液供給制御手段109によって調製槽105への現像原液等の供給量が調整される。これによりアルカリ濃度が調整されたアルカリ系現像液は、平準化槽202へ送られ、アルカリ濃度が平準化された後、加工設備へ送給される。

請求項（抜粋）：

微細加工が施された電子回路が形成される加工設備に管路を介して接続されており、該加工設備で用いられるアルカリ系現像液が製造される装置であって、現像原液と純水とが供給され且つ攪拌されて前記アルカリ系現像液が調製される調製槽と、前記調製槽内の前記アルカリ系現像液の量を測定する第一液量測定手段と、前記調製槽内の前記アルカリ系現像液のアルカリ濃度を測定する第一アルカリ濃度測定手段と、前記第一液量測定手段による測定値及び前記第一アルカリ濃度測定手段による測定値に基づいて、前記調製槽内の前記アルカリ系現像液の量を調整する第一液量制御手段と、前記第一液量測定手段による測定値及び前記第一アルカリ濃度測定手段による測定値に基づいて、前記調製槽への前記現像原液の供給量及び前記純水の供給量のうち少なくともいずれか一方を調整する液供給制御手段と、を備える現像液製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/30

FI (2件)：

G03F 7/30 , H01L 21/30 569 A

Fターム (7件)：

2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096GA25 , 2H096GA30 , 2H096GA33 , 5F046LA03 , 5F046LA19

引用特許：

審査官引用 (5件)

特許第2751849号
現像液の調整方法及び調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-082316 出願人：東京応化工業株式会社, ティーオーケーエンジニアリング株式会社
薬液調合装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-247910 出願人：三菱瓦斯化学株式会社

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