特許
J-GLOBAL ID：200903008527115120

ポジ型感光性組成物

発明者：
藤森 亨

藤森 亨 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-196113
公開番号（公開出願番号）：特開2003-084441
出願日： 2002年07月04日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：
【要約】【課題】 パターンのエッジラフネスが改良され、現像欠陥が抑制され、且つ引きおき経時による線幅変動が改善されたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する酸発生剤、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂及び(C)構造の異なる少なくとも2種類の塩基性化合物を含有するポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する酸発生剤、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂及び(C)構造の異なる少なくとも2種類の塩基性化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (16件)：
2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17
引用特許：
審査官引用 (6件)
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